Lieferbare Linearsysteme konzipiert

Linearachsen microLine von IEF Werner positionieren Mikro-Dosierpumpe easy. dot

12. Januar 2007
Bild 1: Lieferbare Linearsysteme konzipiert
Bild 1: Lieferbare Linearsysteme konzipiert

Kleben gehört heutzutage zu den wichtigsten Aufbau- und Verbindungstechniken in der Mikroproduktion und Elektronik. Immer kleiner werdende Bauteile erfordern leitfähige Verbindungen im Bereich weniger Mikrometer. Da die hierfür notwendigen Bewegungsabläufe oft in einem nur wenige cm³ bis dm³ großen Arbeitsraum mit einer Positioniergenauigkeit ≤ 20 µm auszuführen sind, werden an die Positioniersysteme höchste Anforderungen gestellt. Für diese diffizilen Bedingungen sind die als Ausleger-, Portal- und Vertikalachsen lieferbaren Linearsysteme microLINE der Firma IEF konzipiert. Bereits die Standardausführungen überzeugen mit Geschwindigkeiten bis 2,9 m/s, Beschleunigungswerten bis 60 m/s² und einer Wiederholgenauigkeit von ± 0,02 mm. Ausgehend von den Standardeinheiten mit Direktantrieb konnten die Verfahrwege von X = 240 mm, Y = 100 mm und Z = 80 mm verwirklicht werden. Mit der von Firma Scherzinger Pump Technology entwickelten neuen Pumpe ist es möglich, kleinste Mengen von Flüssigkeiten bis zu einer Viskosität von 100 000 cst zielgenau und mit hoher Reproduzierbarkeit zu dosieren. Bei dem realisierten Projekt wurden die Dots (Punkte) mit einem Durchmesser von 300 µm auf einen Siliciumwafer gesetzt. Die Dot-Größe ist über ein Steuerprogramm programmierbar und reicht von 80 µm bis zu 1 mm Durchmesser.