Besonders flacher Vakuum-Präzisionsverstelltisch

Beengte Platzverhältnisse in Vakuumkammern verlangen besonders kleinformatige Antriebs- und Positionierlösungen.

10. Juni 2011
Bild 1: Besonders flacher Vakuum-Präzisionsverstelltisch
Bild 1: Besonders flacher Vakuum-Präzisionsverstelltisch

Mit nur 21 mm Bauhöhe ist der Lineartisch M-683.2V4 von Physik Instrumente (PI) einer der flachsten Mikrostelltische auf dem Markt, und jetzt auch in einer Variante für den Einsatz in Vakuumumgebungen bis 10-6 mbar verfügbar. Eine Encoderauflösung von 0,1 µm über 50 mm Stellweg ermöglicht den Einsatz bei Präzisionsaufgaben.

Zur besseren Führungsgenauigkeit verwenden die M-683 Positionierer zwei Kreuzrollenführungen, die auf geschliffenen Aluminiumprofilen montiert werden. Sie sind für Lasten bis 5 kg ausgelegt.

Die verwendeten piezokeramischen U-164 PILine Linearmotoren besitzen auch ohne Bestromung hohe Haltekräfte, die oberhalb der Stellkräfte liegen. Somit vermeiden sie im Stillstand sowohl Wärmeentwicklung als auch ein Positionszittern bei aktivierter Regelung, wie sie bei konventionellen Motoren auftreten können.

Die von PI entwickelte einzigartige PILine Piezomotor-Technologie kommt ohne Spindel und Getriebe aus. Der Direktantrieb ist im Stelltisch integriert und sorgt für die hohe Geschwindigkeit von bis zu mehreren hundert Millimetern pro Sekunde.